زمينه فني اختراع حاضر مربوط به زمينه مكاترونيك كه تلفيقي از مكانيك، برق الكترونيك و كامپيوتر است مي¬باشد. اين دستگاه يكي از اصلي¬ترين و اساسي¬ترين دستگاه¬هاي يك آزمايشگاه نانو، پليمر، ميكرو الكترونيك، MEMS، شيمي يا مواد است. كاربرد اصلي اين دستگاه در ايجاد پوشش¬هاي فوتورزيست پليمري با ضخامت مشخص بر روي زيرلايه هاي سيليكوني، شيشه¬اي و ... به صورت دوراني است. تنظيم سرعت و شتاب به صورت يكپارچه و اتوماتيك، عدم امكان كنترل دستي سرعت، شستشوي دستگاه با مواد حلال و امكان تزريق گاز خنثي به داخل محفظه و همچنين نشتي خلا به هنگام دوران از جمله مشكلاتي است كه عمدتا كاربران اين دستگاه¬ها به صورت همزمان با آن مواجه هستند. اين دستگاه با بكارگيري يك صفحه نمايش لمسي امكان تعريف سرعت، شتاب و مدت زمان را براي كاربر در دو حالت دستي و اتوماتيك فراهم آورده است. همچنين با بكارگيري كاسه پليمري و بدنه تمام استيل امكان شستشو نيز براي دستگاه فراهم گرديده است. با قرار دادن منفذ تزريق گاز خنثي در داخل ديواره كاسه دستگاه، امكان تزريق گاز خنثي به داخل محيط پوشش¬دهي فراهم گرديده است. همچنين با طراحي خاص قسمت ايجاد خلا، ميزان نشتي خلا در حالت دوران به حداقل مقدار خود رسيده است كه اين كار منجربه كوچكتر شدن پمپ خلا مورد نياز براي دستگاه نيز گرديده است.

وجود تجهيزات آزمايشگاهي به منظور ايجاد لايه، انتقال الگو و اچينگ زيرلايه از جمله موارد بسيار مهم در يك آزمايشگاه ميكروالكترونيك، MEMS و يا مواد است. فراهم سازي تمامي اين تجهيزات در يك فضاي تميز (Clean) و عاري از ذرات گرد و غبار نيازمند هزينه بالا و فراهم سازي فضاي به نسبت بزرگ آزمايشگاهي است. ايجاد يك مجموعه با فضاي محدود و قيمت ارزان كه تمامي مراحل مذكور را بتوان در داخل آن به صورت پشت سرهم و بدون جابجايي در فضاي ازمايشگاه انجام داد يك هدف مهم و ارزشمند است. دستگاه پيشرو با فراهم كردن فضاي تميز معادل يك اتاق تميز و گردآوري دستگاه هاي پوشش دهي دوراني، ليتوگرافي تماسي و اچينگ مرطوب، يك آزمايشگاه ليتوگرافي كامل به منظور ايجاد، انتقال و زدايش الگوي روي ماسك بر روي زيرلايه ميباشد. اين مجموعه با ادغام دستگاه پوشش دهي دوراني بر روي ميز اصلي دستگاه امكان پوشش دهي ويفر يا زيرلايه تا قطر 6 اينچ را فراهم ميسازد. كاربرد اصلي اين دستگاه در زمينه ايجاد لايه پليمري بر روي زير لايه هاي مختلف، انجام عمليات مختلف بر روي زيرلايه همچون پخت، متاثر سازي به منظور انتقال الگوي ماسك بر روي آن و شستشو و اچينگ آن در داخل حمام اسيدي و يا بازي است. دماي قابل تنظيم محفظه حمام امكان تنظيم دماي محلول را در دماهاي با نرخ اچينگ بالا فراهم آورده و بدين ترتيب بدون خروج زيرلايه از داخل سيستم تمامي عمليات به صورت پشت سر هم بر روي آن انجام ميگيرد.

تجهيزات آسياكني نقشي كليدي در فرآيندهاي خردايش مواد معدني ايفا مي‌كنند. مجموعه لاينره به‌كار رفته در اين تجهيزات، شامل لاينر و ليفتربار، براي محافظت از ديواره‌هاي داخلي و افزايش طول عمر مفيد آسياها مي‌باشد. با اين حال، به‌دليل تماس مداوم با مواد معدني و گلوله‌هاي فلزي و ضربات پيوسته، لاينر و ليفتربار به مرور دچار سايش مي‌شوند. اگر اين سايش به‌موقع شناسايي نشود، ممكن است بدنه آسياها آسيب جدي ببيند و كارخانه با هزينه‌هاي سنگين تعمير و توقف‌هاي ناگهاني توليد روبه‌رو شود. سنسور اندازه‌گيري سايش ليفتربار در آسياهاي گلوله‌اي، به‌صورت لحظه‌اي و برخط (In-line) طراحي شده ‌است تا وضعيت لاينر و ليفتربار را به‌طور لحظه‌اي بررسي كرده و پيش از وقوع خرابي‌هاي جدي، نياز به تعويض را اطلاع دهد. طراحي اين سنسور كه در ليفتربارهاي آسيا جايگذاري مي‌شود به‌گونه‌اي است كه با سايش لاستيك ليفتربار، اين سنسور نيز ساييده شده و طول آن كاهش مي‌يابد (با كاهش ضخامت ليفتربار و سايش مجموعه‌ي لاستيك و سنسور، طول سنسور نيز كاهش پيدا مي‌كند). ميزان كاهش طول سنسور توسط برد الكترونيكي اندازه‌گيري مي‌شود كه در مجموعه‌اي بر روي بدنه آسيا قرار دارد. سپس مقادير اندازه‌گيري و قرائت شده، به‌صورت بي‌سيم به مجموعه گيرنده ارسال مي‌گردد كه در اتاق كنترل قرار داده شده است. بر اين اساس، اطلاعات دريافت شده توسط مجموعه گيرنده در قالب نمودار و جدول بر روي صفحه نمايش قابل مشاهده بوده و اين تغييرات بصورت لحظه‌اي و پيوسته قابل رويت، بررسي و تجزيه و تحليل مي‌باشد.